언어
웨이퍼 습식 식각, 세척 및 박리 공정, 초순수(UPW) 전달 시스템, CDS(화학 물질 분배 시스템), 폐가스 세정, 폐수 처리 및 특수 가스 흡수 시스템에 널리 배포되는 자기 구동 펌프는 황산, 질산, 불화수소산, 수산화암모늄, 포토레지스트 및 CMP 슬러리를 포함한 고순도의 복잡한 매체를 안정적으로 전달합니다.{1}}
엄격한 공정 사양으로 인해 현장 작업은 일반적으로 -중간 오염 위험이 높음, 전달 안정성이 부족함, 부식성이 높은 유체와의 호환성이 낮음, 유지 관리 비용이 높음, 가동 중지 시간 손실이 심함, 방폭 및 안전 준수 압력이 엄격함,{1}}청결 관리의 어려움 등 심각한 문제에 직면해 있습니다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 Shaanxi Hono Electronic Technology Co., Ltd.는 완전 불소화 또는 고{2}}순도 비{3}}자기 구동 펌프를 채택하여 초순수, 고{5}}순도 화학 물질, 부식성이 높은 산 및 알칼리, 입자-함유 슬러리와 같은 다양한 작업 조건을 수용합니다. 단일 펌프 / 이중화 펌프 + 프로세스 배관 + 제어 장치 + 안전 부속품으로 구성된 모듈형 시스템 아키텍처를 설계합니다. 펌프에 내장된-기본 제어 장치를 PLC 제어 시스템과 연결하고 가변 주파수 속도 조절, 자동 고장 진단 및 보호 기능을 탑재하여 정밀한 유량 및 압력 제어는 물론 안정적인 작동을 구현합니다. 또한 1차 펌프와 대기 펌프 사이의 자동 전환을 지원하여 중단 없는 생산 라인 운영을 보장합니다.
1. 맞춤형 단일 펌프 솔루션:매질 특성 및 공정 매개변수를 기반으로 한 맞춤형 펌프 모델 및 습식 재료.
2. 제어 캐비닛 통합:주파수 변환 제어, 결함 경보, 데이터 수집 및 원격 통신 모듈이 통합된 맞춤형 방폭-청정-형 제어 캐비닛입니다.
3. 배관 설계 및 최적화:최적화된 파이프라인 라우팅 및 밸브 구성을 갖춘 반도체 청정-등급 배관 설계(PFA/고순도 EP 스테인레스 스틸)입니다.
4. 자동화 통합 및 시운전:공장의 기존 DCS/PLC 시스템과 원활하게 연결되어 펌프 장치와 공정 장비 간의 연결 제어를 실현합니다. 시스템이 엄격한 청결성과 안정성 요구사항을 충족하는지 확인하기 위해 현장 설치 지침, 시운전 및 검증 서비스가-제공됩니다.
귀하의 프로젝트 요구 사항에 대해 논의하고 견적을 받으려면 당사 엔지니어와 상담하십시오. 다음 주소로 이메일을 보내 문의하세요.liuziyan@sxhono.com.cn.