소개
HD100R반도체 자기 펌프반도체 산업에 맞춰 제작된 전문 이송 장비-입니다. 밀봉되지 않은 자기 구동 구조를 특징으로 하는 이 제품은 작동 전반에 걸쳐 누출 및 외부 오염이 전혀 발생하지 않으며 반도체 작업장의 높은-청결 요구 사항을 완벽하게 충족합니다.
이 반도체용 PTFE 마그네틱 펌프의 유체 접촉부는 고순도 PTFE로 제작되어 이온 침전이나 매체 투과 없이 부식성이 강한 다양한 반도체 화학 물질에 저항합니다. 에칭액, 세척액, 고순도 시약과 같은 특수 화학물질을 안전하게 이송합니다.- 일체형으로 형성된 데드-공간-프리 펌프 본체와 고광택 표면-으로 철저한 세척이 가능하고 매체 잔류물과 교차{7}}오염을 효과적으로 방지합니다. 신뢰성 높은 반도체 화학물질용 마그네틱 펌프로서 저진동으로 안정적으로 작동하며 24-시간 연속 작동을 지원합니다. 웨이퍼 제조, 칩 패키징, 반도체 습식 공정에 널리 사용되며, 반도체 부문에서 부식성 고순도 화학물질을 이송하는 핵심 장치 역할을 합니다.
제품 구조도
기술적인 매개변수
모델 | 튜브 인터페이스 | 나선형 인터페이스R-M RX-MRZ-M | 최대 용량(L/min) | 최대머리(m) | 비중 | 모터 | 체중(kg) | |||
입구(mm) | 출구 (mm) | 입구/출구 | 커플링 치수(mm) | 50Hz/60Hz | 50Hz/60Hz | 출력(w) 50Hz/60Hz | 단계 | |||
HD100R | 26 | 26 | G1 | 20 | 120/135 | 8.6/11.9 | 1.2 | 260/265 | 1또는3 | 8.1 |
성능 곡선
주요 장점
1. 내부식성이 뛰어난 일체형 고{1}}순도 PTFE
반도체용 PTFE 마그네틱 펌프의 접액부는 두꺼운 고순도 PTFE를 사용하여 일체로 압축-성형되었습니다. 기존의 접합 PTFE 펌프와 비교하여 부식성이 강한 화학 물질의 침투에 대한 저항성이 크게 향상되고 내압성이 더 높은 것이 특징입니다. 반도체용 고농도 식각액 및 박리액의-장기 납품에 완벽하게 적용 가능하며 재료 박리, 부풀음 및 이온 석출을 방지합니다.
2. 안정적인 배송을 위한 대유량 구조
맞춤형 고유량-유압 모듈은 대량 생산 반도체 라인용으로 설계되었습니다.- 이는 여러 습식 공정 라인에 동시에 액체를 공급할 수 있는 더 넓은 유량 범위와 안정적인 압력 출력을 제공하여 높은-유량 조건에서 일반 자기 펌프의 헤드 부족 및 급격한 유량 변동 문제를 해결합니다.
3. 고-부하 완전 밀봉 마그네틱 드라이브 시스템
이 반도체 화학물질용 마그네틱 펌프에는 더 높은 토크 용량을 위해 업그레이드된 강화된 마그네틱 커플링 부품이 장착되어 있습니다. 완전히 밀봉된 방진 및 부식 방지 하우징과 결합하여 -장기적인 전체-부하 연속 작동을 유지하고 먼지가 없는 작업장에서 공기 중 입자와 부식성 가스를 격리{4}}하여 핵심 변속기 부품을 보호합니다.
4. 대용량-용량 데드-공간-자유 캐비티 디자인
HD100R의 확장된 캐비티는 액체 보유 사각지대 없이 최적화된 부드러운 전환을 채택합니다. 내부 벽의 광택이- 높아 더욱 빠르고 철저한 온라인 청소가 가능합니다.- 다양한 반도체 화학물질의 대체 전달에 이상적이며 교차-오염 위험을 완전히 방지합니다.
5. 복잡한 파이프라인 조건을 위한 고압 저항 구조
펌프 하우징과 연결 부품은 고압용으로 강화되어 유사한 모델보다 내압력이 우수합니다. 이 제품은 복잡한 파이프라인, 장거리 배송, 반도체 작업장의 파이프라인 압력 변동에 적응하고 누출이나 변형 없이 안정적으로 작동합니다.
일반적인 응용 분야
● 웨이퍼 에칭용 고농도 불화수소산의-장거리 운송-
HD100R의 일체형 압축-성형 두꺼운 PTFE 소재는 불화수소산의 장기간 침투를 방지하여 장거리-고압-고압 운송 중에 쉘 박리 및 부풀어오르는 현상을 방지합니다.
● 병렬 반도체 습식 공정 생산 라인을 위한 중앙 집중식 액체 공급
전용 고유량 유압 모듈이 장착된 이 반도체 산업용 마그네틱 펌프는 전달 헤드와 유속의 감쇠가 매우 낮은 것이 특징입니다. 3개 이상의 세정 및 에칭 생산 라인에 액체를 독립적으로 안정적으로 공급할 수 있어 여러 개의 소유량 자기 펌프의 병렬 배치를 대체할 수 있습니다.
● 다양한 반도체용 산{0}}염기 화학물질의 교대 순환 운송
확장된 매끈한 데드-공간-프리 캐비티와 고{2}}광택 내벽으로 온라인 세척 후 화학 잔류물이 남지 않으며, 에칭 용액과 스트리퍼의 교대 공급 시 교차-오염을 철저히 방지하고 빈번한 화학 전환 작업 조건에 적응합니다.
치수(mm)
모델 | W | H | L | a | b | c | h | e | f | g | i |
HD100R | 156 | 174 | 335 | 70 | 100 | 110 | 74 | 65.5 | 44 | 147 | 4-9*27 |
FAQ
Q: 장거리-약액 운송 중에 파이프라인의 역류 충격으로 인해 압력 저항이 부족하여 펌프 누출 및 변형이 발생합니까?
A: 표준 파이프라인 레이아웃에서는 압력 장애가 발생하지 않습니다. 장거리 반도체 식각액 파이프라인에는 압력 손실이 필연적으로 존재하며-장비 정지 및 분기 압력 조절 중에 역류 영향이 발생할 가능성이 높습니다. 반도체 산업용 마그네틱 펌프인 HD100R은 장거리 역류 작업 조건을 위한 목표 압력 강화 기능을 채택했습니다.- 탄소 섬유 강화 라이너는 펌프 케이싱 플랜지와 펌프 커버의 조인트에 내장되어 있으며 정격 압력 저항은 최대 1.6MPa입니다. 이는 동적 파이프라인 역류 펄스 압력을 상쇄할 수 있습니다. 한편, 일체형으로 성형된 PTFE 케이싱에는 접합 틈이 없어 케이싱 균열 및 액체 누출을 방지하고 100m 이상의 반도체 화학 물질 운송을 지원합니다.
Q: HD100R의 고유량{0}}공급 모드가 유압 효율을 감소시키나요?
A: 정격 높은{0}}유량 범위 내에서는 유압 효율 감쇠가 발생하지 않습니다. 맞춤형 넓은-섹션 볼류트 및 전방-경사형 낮은-와류 임펠러를 갖춘 HD100R은 유로 곡률 일치를 최적화합니다. 유압 효율은 유속 증가로 인한 효율성 저하 없이 모든 정격 고유량 작업 조건에서 78% 이상 안정적으로 유지되며 병렬 다중 라인 액체 공급을 위한 균일한 분기 압력을 보장합니다.
Q: HD100R 구입처반도체 자기펌프?
A: 이메일을 통해 영업팀에 문의하실 수 있습니다.juicy@sxhono.com.cn제품 사양, 견적 및 선택 권장 사항을 얻으려면 특별한 적용 요구 사항이 있는 경우 맞춤형 유체 이송 솔루션을 제공할 수도 있습니다.
인기 탭: 반도체 자기 펌프, 중국 반도체 자기 펌프 제조업체, 공급업체, 공장, 위험 화학물질 이송 펌프, 가스 산업용 누출 방지 자석 펌프, 산세척액용 자석 펌프, 반도체 화학물질용 자기 펌프, 점성 화학 액체용 자기 펌프, 반도체 자기 펌프
